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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于在高温环境中检测或监测化学前体的设备

CN201910114781.X 2019-2-14 发明申请

2019-8-30

公开了一种用于监测和/或检测反应室中化学前体浓度的设备和方法。所述设备和方法具有在高温环境中操作的优点。光学发射光谱仪(OES)联接于气体源，例如固体源容器，以便监测或检测到达所述反应室的所述化学前体的输出。替代地，可以周期性地监测流动进入所述OES以及进入真空泵，由此绕过所述反应室的少量前体样品。