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椭圆仪

KR1020170181127 2017-12-27 发明授权

2019-8-30

根据本发明实施例的椭圆仪是椭圆仪。一种相位延迟板，用于线性地偏振来自光源的光，通过透镜，相位延迟板和偏振器接收透镜，透镜，透镜，透镜，相位延迟板和接收从透镜反射的光的光谱仪，以获得关于样品的信息。