| 一种基于硅基光电探测器的生化传感系统 |
| CN201821727962.7 2018-10-24 实用新型 |
| 2019-8-23 |
| 本实用新型涉及一种基于硅基光电探测器的生化传感系统，属于半导体光信号传输技术领域。该基于硅基光电探测器的生化传感系统，包括光源、从下至上的SOI晶片的衬底、SOI晶片的埋氧层、硅层和SiO2上包层，所述硅层包括输入波导、传感元件、传输波导、示踪元件、输出波导以及探测器，光源输出端通过输入波导与传感元件输入端相连，传感元件输出端通过传输波导与示踪元件输入端相连，示踪元件输出端通过输出波导与探测器相连，输入波导、传感元件、传输波导、示踪元件、输出波导以及探测器外层设有SiO2上包层。本系统通过硅光子生化系统并设置硅基光电探测器，可以有效解决生化传感系统器件复杂和光谱仪昂贵的问题。 |
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