| 一种光谱仪系统 |
| CN201821964097.8 2018-11-27 实用新型 |
| 2019-8-16 |
| 本实用新型属于光学技术领域，提供了一种光谱仪系统，包括入射狭缝、准直透镜、色散元件、聚焦透镜、出射狭缝及探测器，扫描振镜以及振镜控制系统，通过振镜控制系统控制角度的扫描振镜来扫描和反射入射光，再通过色散元件进行分光将不同波长的单色光进行色散后，经由探测器获取各个旋转角度对应的光强信息，由于振镜的角度与波长一一对应，进而能够获取到入射光的光谱信息，使用振镜用来扫描光谱，取代了旋转光栅的光谱仪系统，过振镜控制系统能够准确控制扫描振镜的角度，使得光谱仪系统稳定可靠，提高测量精准度并降低制造成本。 |
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