拉曼光谱显微镜自动对焦系统
 
EP18000054  2018-1-23  发明申请

2019-7-24
 
  本发明涉及一种配备有光学活性聚焦系统的拉曼Spektromikroskop,该光学活性聚焦系统本身在时间位置处并且在其自身中,并且允许在高显微分辨率和高光谱分辨率下对微观固体或半固体物质(1)进行拉曼光谱研究。 所述结构包括根据本发明的Spektromikroskopische的光学透镜(A), 一种焦点位移控制系统(BIS),光管(D),(E)多色辐射源,辐射源(S)单色,拉曼光谱仪(N),以及成像图像存储系统(克),计算机(HR)和特定应用软件(Iin)。 使用用于校准干涉式迈克尔逊器件的聚焦系统的有源光学器件。
 
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