| 使用偏振像素阵列的薄膜和厚膜厚度以及3D表面轮廓的光学测量系统 |
| KR1020180020659 2018-2-21 发明授权 |
| 2019-6-10 |
| 在根据本发明的光学装置的实施例中，与宽带光源相干(相干)； 具有光束偏振态的光源1的所述光输出接收具有所述1号偏振态偏振分束器和2号偏振态偏振分束器的反射光束的球数宽带偏振态； 所述偏振分束器1号通过反射光束基镜的偏振状态； 所述参考反射镜数目为1/4波长板，设置在所述偏振分束器之间； 所述2号为1号，具有光束偏振态样品聚焦透镜； 所述透镜和所述1号2号1/4波长板设置在偏振分束器之间； 以及在所述偏振分束器之后，所述参考反射镜反射从所述样品反射的参考光束，在所述光束沿着光谱检测器光谱波长传输之后，在不使用工具的情况下反射所述样品光束。 |
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