| 用于芯片调试和故障隔离的电子束探测 |
| WOUS17053704 2017-9-27 发明申请 |
| 2019-4-4 |
| 本发明描述了用于电子束探测以进行芯片调试和故障隔离的装置和方法。 在一个实施例中， 一种电子束信号图像映射(ESIM)的方法，包括 : 在包含集成电路结构的芯片上的区域上扫描电子束， 以一频率切换集成电路结构的栅极， 放大二次电子信号并将放大的二次电子信号发送到调谐到该频率的锁定放大器或频谱分析仪， 将锁定放大器或光谱分析器的输出馈送到扫描控制单元，扫描控制单元在该区域上光栅化，并用电子束照射集成电路结构的一部分以调制二次电子信号。 |
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