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分光镜
JP2018179953 2018-9-26 发明申请
2019-1-10
[A]能够抑制检测精度可降解的小型分光仪。分光镜[A],一种半导体材料构成的基板;具有检测单元,通过空间检测单元,其面对该基壁,和,光检测单元固定到支撑件,其具有侧壁,一种空间部分的入射光的反射在光检测单元和所述光谱的光谱,设置。基板上,入射光通过狭缝(1)的第第二空间,和第二的一部分光穿过所述狭缝2的部分上形成的反射光谱。图[图1]
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