| 低偏振度二维二元闪耀光栅 |
| CN201822264272.9 2018-12-31 实用新型 |
| 2019-8-13 |
| 本实用新型公开了一种低偏振度二维二元闪耀光栅，它为高度相同的柱状亚波长微结构透射式光栅，光栅单元在两个正交方向呈周期性排布。每个光栅单元包含多个子单元，不同子单元宽度相等但介质占空比不同。本实用新型提供的二维二元闪耀光栅，其光栅槽形为等高度的二元结构，可通过电子束曝光或激光直写等单步曝光法制得，相比理想形貌的锯齿槽形制作更易；同时还具有高衍射效率和低偏振敏感度的衍射特性，且在参考波长处无偏振，适用于高信噪比和高辐射测量精度要求的光栅型成像光谱仪。 |
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