| 将样品耦合到回焊辐射照明辐射显微镜光束路径中和将样品解耦到回焊辐射照明辐射显微镜光束路径中的装置 |
| DE102017116436 2017-7-20 发明申请 |
| 2019-1-24 |
| 本发明涉及一种用于将样品耦合和去耦合到迎宾背光照明辐射显微镜光束路径中的装置。 任务， 将照明辐射与样品的背辐射耦合或解耦合以发现受欢迎的新机会， 无空间分割的消色差光束允许带状图像伪影， 按照本发明解决， 在样品(5)和检测单元(67)之间的光瞳平面中的显微镜光束路径中，存在具有空间消色差分束的分束器(3)，该空间消色差分束具有透明支撑(33)并反射第一部分(31)， 其中第一部分(31)相对于显微镜(2)的照明光束路径的光轴(7)对称； 4)和检测单元(67)被定位，并且分束器(3)扫描装置包括载体(33)绕至少一个光轴(7)的垂直轴允许的振动运动。 |
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