| 一种线宽压窄模块 |
| CN201822019889.4 2018-12-3 实用新型 |
| 2019-7-26 |
| 本实用新型提出的一种线宽压窄模块，包括密闭腔、与所述密闭腔连通的进气管和出气管，所述进气管上设有第一阀门，所述出气管设有第二阀门，所述密闭腔内容纳有用于调整激光线宽的棱镜组、用于承载所述棱镜组的棱镜组平台、光栅以及吹气管，所述吹气管与所述进气管连通，在工作时，由所述进气管向所述密闭腔中输送惰性气体，并由所述出气管排出空气，直至所述密闭腔中的惰性气体为正压时关闭或减小所述第一阀门。本实用新型的线宽压窄模块解决了气域保护问题，可对线宽压窄模块中光学元件及光路进行惰性气体保护，并维持相对稳定的惰性气体环境，提高光刻用准分子激光器光谱输出的稳定性。 |
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