| 一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置 |
| CN201811239979.2 2018-10-24 发明申请 |
| 2019-1-22 |
| 一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置,其属于材料分析测试技术领域。该装置设置在透射电镜机械泵或油扩散泵等和照相室之间,透射电镜机械泵或油扩散泵等产生的挥发性油气经由真空管路扩散到油气处理系统,在油气处理系统中经分子筛/炭膜复合膜处理,净化再经照相室端阀门、照相室接头维持照相室洁净的高真空系统。可以实现安全、实用、经济、有效地在透射电镜上安装并进行大规模推广。该装置有效地去除油气,避免了油气进入到照相室内进而在相机表面形成一层油膜,进而影响相机性能及透射电镜正常观测的问题。 |