| 脉冲长度调整单元，激光脉冲激光系统和脉冲长度调整方法 |
| DE102018109405 2018-4-19 发明授权 |
| 2019-7-11 |
| 一种用于具有光谱宽度的脉冲激光束(5)的脉冲长度调节单元(7，7')，包括第一和第二色散元件(11a，11b)，用于通过色散元件(11a，11b)限定的角度色散范围(13)在A中产生角度色散。 在角度色散范围(13)中的各个光谱分量是与激光束(5)的光路(13a，13b)相关联的，至少在截面上彼此成一角度。 (7， 7')脉冲长度调节单元还包括第一和第二三面反射器(9a，9b)， 9b)，其中在第一和第二色散元件(11a，11b)之间的光路中的三个表面反射器(9a，9b)中的每一个被布置并且三个反射表面(R1，R2，R3)具有。 激光束(5)通过激光束(5)在相应的三个反射表面(R1，R2，R3)上的三次连续反射而在三个表面反射器(9a，9b)中的每一个上反射，其中方向偏转和光束被偏移。 |
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