| 一种3D测量激光显微镜 |
| CN201820868791.3 2018-6-6 实用新型 |
| 2019-1-18 |
| 本实用新型公开了一种3D测量激光显微镜，激光显微镜的光学系统由布置在物镜上方的激光共焦系统、彩色成像系统以及扫描仪系统组成，激光共焦系统，其第一光路上设置有共焦针孔和位于共焦针孔后方的光电倍增管，从物镜返回的光线通过共焦针孔到达光电倍增管；彩色成像系统，其第二光路上设置有白光光源，其第三光路上设置有获取样品色彩信息的相机，白光光源位于第二光路的末端，相机位于第三光路的末端；扫描仪系统，其第四光路上设置有激光光源和位置相对物镜瞳镜共轭的X?Y扫描仪；其中，第一光路、第二光路、第三光路和第四光路的一端均通过物镜。本实用新型能够同时获取样品的色彩信息、高度信息，并获得高分辨率的观察图像。 |
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