| 一种用于大尺寸样品观察的工业检测显微镜 |
| CN201820869646.7 2018-6-6 实用新型 |
| 2019-1-18 |
| 本实用新型公开了一种用于大尺寸样品观察的工业检测显微镜，包括：机架；滑块，其提供分成预定区域的暗场照明光源，滑块插在物镜转换器的旋转盘和第一照明组件之间；呼吸防护罩，其具有相互连接的固定面和遮挡面，固定面卡接在第一照明组件上，遮挡面所在平面隔离滑块和旋转盘，遮挡面远离固定面的一侧向载物台延伸；晶圆托盘，其可旋转地设置在载物台上，晶圆托盘具有多个不同直径的卡槽，小直径卡槽的高度低于大直径卡槽的高度，每一直径的卡槽均具有从其直径边缘延伸至载物台一侧的导轨，不同直径的卡槽的导轨相互平行。本实用新型支持大尺寸的晶圆、平板显示器以及印刷电路板的观察。 |
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