| 一种用于快速扫描样品表面颗粒物的显微镜 |
| CN201820869647.1 2018-6-6 实用新型 |
| 2019-1-18 |
| 本实用新型公开了一种用于快速扫描样品表面颗粒物的显微镜，包括：分别产生不同波长的连续激光的多台激光器，激光分别入射到数字微镜晶片的微镜阵列；数字微镜晶片将不同波长的连续激光转化为具有不同相位和/或不同角度的衍射光斑，同一组的衍射光斑组具有相同的周期；掩模位于数字微镜晶片的光路的下游；色彩检测系统具有：第一光路上设置有白光光源，第二光路上设置有获取样品色彩信息的相机，白光光源位于第一光路的末端，相机位于第二光路的末端；衍射光斑组通过掩模，经过反射镜和透镜进入物镜；而第一光路和第二光路的一端也均经过物镜。本实用新型能够增加被检测颗粒物的数量，降低每次检测的成本，并缩短出现检测失败时的应对时间。 |
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