| 一种基于阵列滤光片的微型光谱仪 |
| CN201910242913.7 2019-3-28 发明申请 |
| 2019-6-25 |
| 本发明公开了一种基于阵列滤光片的微型光谱仪及其制备方法，所述微型光谱仪包括扩束透镜、准直透镜、阵列滤光片、探测器和上位机，所述待测光束经依次经过扩束透镜扩束、准直透镜准直后照射于阵列滤光片，经阵列滤光片调制后的透射光被探测接收并传送给上位机，经上位机处理后待测光束的光谱分布。本发明提供的基于阵列滤光片的微型光谱仪，它采用了阵列滤光片作为其色散元件，将阵列滤光片集成在探测器芯片上，其结构紧凑，制备过程简单，成本低，便于大规模、批量化生产。 |
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