| 探测探针显微镜的测量尖端的方法和装置 |
| DE102017211957 2017-7-12 发明申请 |
| 2019-1-17 |
| 本发明涉及一种用于检查测量尖端(100)的方法， 110)一种扫描探针显微镜(520)，所述方法包括以下步骤 : 在由测量尖端(100, 110)分析样品(400, 510)之前或之后产生至少一个测试结构(alpha)(600, 650, 710, 730, 750, 770, 810, 850)； 以及(b)借助于至少一个生成的测试结构(600, 650, 710, 730, 750, 770, 810, 850)检查测量尖端(100, 110)。 |
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