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电子显微镜
JP2018507873 2016-3-29 发明申请
2019-1-17
大面积的带状照明或照射, 期望的干涉图案, 为了便于在正常照明之间快速切换, 或在电子显微镜下获得良好的S/N, 使用负电子亲和力和光电阴极101, 激发光阴极的激发光学系统, 受从光电阴极电子束发生器12发射的激发光通过用于用电子光学系统照射样品的光学系统13激发, 设置在激发光的光路中用于激发光调制装置的激发光学系统,激发光源107包括具有相空间108的电子显微镜。
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