| 具有光谱特性的多脉冲光束技术 |
| KR1020197013252 2017-10-4 发明申请 |
| 2019-5-28 |
| 通过一种方法控制由光源产生的脉冲光束的光谱特征。 所述方法包括 : 以脉冲重复率产生脉冲光束； 将脉冲光束导向光刻曝光设备中接收的衬底，以将衬底暴露于脉冲光束； 当脉冲光束曝光衬底时，修改脉冲光束的脉冲重复率。 所述方法包括确定对所述脉冲光束的光谱特征的调整量，所述调整量补偿与所述脉冲光束的脉冲重复率的改变相关联的所述脉冲光束的光谱特征的变化。 所述方法包括 : 当衬底被曝光时，将脉冲光束的光谱特征改变所确定的调整量，从而补偿光谱特征的变化。 |
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