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用于包含波长校准光源光谱仪的光学狭缝

US15982296 2018-5-17 发明申请

2018-11-29

本发明公开了一种光学狭缝装置，其结合微机电设计技术、半导体激光器技术和微光学技术以在半导体衬底上提供具有集成校准光源的分光计入口狭缝，集成光进入入口狭缝并沿与被测光源相同的光路透射，并且通过该集成光可以原位校准分光计的波长。