| 原子力显微镜探针光热激发及弯曲探测装置和探测方法 |
| CN201810979899.4 2018-8-27 发明申请 |
| 2019-1-15 |
| 本发明涉及一种原子力显微镜探针光热激发及弯曲探测装置和探测方法，夹持装置固定住把双层探针使其水平，激光器发出等于探针固有频率的激光经过校准变为平行光，倾斜入射聚焦物镜，聚焦后的光斑照射到探针上表面的金属薄膜，产生热振动；探测激光器发出的恒定激光也由聚焦物镜进行聚焦，聚焦后的光斑照射到探针前端的上表面，在上表面发生全反射，将探针探测的信号通过反射后的光束进入到四象限探测器中被探测。由于把激发激光器、探测激光器、聚焦透镜以及探针夹持工具集成到一个装置中，调节聚焦也只需调节一个物件，保证了作为激发振动的激光束与探测用的激光束的位置是固定的，也保证了系统的可靠性与各系统的稳定性。 |
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