| 一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜及其制作方法 |
| CN201910123359.0 2019-2-18 发明申请 |
| 2019-5-10 |
| 本发明公开了一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜及其制作方法，包括以下步骤：取用立体分光镜，所述立体分光镜包括依次相邻设置的第一平面、第二平面、第三平面和第四平面，所述第一平面为进光面，所述第二平面、第三平面和第四平面为出光面，所述第一平面垂直于第二平面设置，所述第三平面垂直于第四平面设置；使用光学冷加工工艺对所述第二平面加工并获得倾斜面，得到斜面分光镜；通过离子束刻蚀法在所述倾斜面上刻蚀出阶梯表面；在所述阶梯表面和所述第三平面上镀反射膜。其结构简单紧凑，而且具有更好的稳定性，精度高。 |
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