| 一种测量透射电镜中微气体束引起的局部等效压强的装置 |
| CN201811127484.0 2018-9-27 发明申请 |
| 2019-1-11 |
| 一种测量透射电镜中微气体束引起的局部等效压强的装置具体涉及到环境透射电子显微镜(ETEM)领域，本发明针对在样品附近局部空间微气体束喷射引起的等效压强的原位测量的技术问题提出的装置。所述装置是利用所述环境透射电镜样品台同时集成安装了所述原位气体微束喷头和所述纳米压痕仪系统，所述原位气体微束喷头和所述纳米压痕仪系统含有所述纳米尺寸原位测力探头。所述纳米压痕仪测力探头可以在所述微气体束喷射区域。所述纳米压痕仪测力探头在样品附近区域三维精确移动，同时可以精确测量气体喷射产生的微小反作用力。所述气体微束喷射时电镜内外平均压强、气体种类(分子量)、纳米压痕仪测力探头截面积，通过测量得到的反作用力，可计算获得所述纳米压痕仪探头所处的纳米尺寸局部空间的等效压强，本发明具有简便快捷和准确度高的特征。 |
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