产业集群信息网

产业专利数据

光谱仪

WOJP18026263 2018-7-12 发明申请

2019-4-11

在反射镜和分光镜之间配置构成可变狭缝部的狭缝板和构成数值孔径调整部的孔径板。狭缝驱动机构基于来自控制单元的信号来驱动狭缝板，并将设置在狭缝板中的多个狭缝中的一个设置在反射镜的光轴上。光圈驱动机构根据来自控制部的信号，在同一光轴上配置与配置在反射镜的光的光轴上的狭缝对应的光圈。