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一种光学滤波器件
CN201811578300.2 2018-12-21 发明申请
2019-4-5
一种光学滤波器件,该器件由衬底(1)、含有光学狭缝的过渡金属氮化物(2)和光学匹配层(3)构成。通过设计各层的厚度、狭缝的宽度以及整体结构的周期性,可以实现不同波长的选择性透过特性,并且透过光谱具有较窄的半峰宽,具有较高的波长选择性。该器件通过低成本的过渡金属氮化物材料实现波长选择功能,能够替代基于贵金属的传统滤波器件,有利于滤波器件的推广应用。
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