| 显微镜物镜计算机辅助装调方法 |
| CN201810907506.9 2018-8-10 发明申请 |
| 2019-1-8 |
| 本发明涉及一种显微镜物镜计算机辅助装调方法，包括：S1、根据物镜光学设计软件建立并训练多重神经网络回归模型，确定物镜制造装配误差与物镜波像差的对应关系；S2、测量物镜的实际波像差，若所述实际波像差满足预定阈值，结束装调操作；S3、若所述实际波像差在所述预定阈值范围之外，则将所述实际波像差代入所述多重神经网络回归模型，由所述多重神经网络回归模型给出装调预测误差；S4、依据所述装调预测误差调整所述物镜，并再次测量所述物镜的实际波像差，若所得实际波像差满足所述预定阈值，结束装调操作；否则重复所述步骤S3?S4，直至所述实际波像差满足所述预定阈值。采用本发明的装调方法可以有效提高物镜装调效率。 |
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