| 用于像差校正的变形镜固体浸没显微镜系统 |
| US14414919 2013-7-15 发明授权 |
| 2019-1-8 |
| 一种使用可变形镜校正固体浸没显微镜系统中的像差的系统和方法。 提供一种固体浸没透镜，该固体浸没透镜具有被配置为与衬底的几乎平坦的表面光学接触的表面，待成像的物体设置在衬底的相对侧。 固体浸没透镜的凸面面对物镜。 包括多个单独可控致动器的可变形反射镜组件接收从物体透射的光。 与可变形反射镜组件通信的控制系统控制器提供可变形反射镜的致动器中的每一个的单独致动，以补偿或抵消像差的影响。 |
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