| 一种基于图像处理和线性回归的原子力显微镜光路自动调整方法 |
| CN201810933939.1 2018-8-16 发明申请 |
| 2019-1-4 |
| 本发明公开了一种基于图像处理和线性回归的原子力显微镜光路自动调整方法，首先在原子力显微镜的探针架上装设可通过计算机控制进行二维方向上移动的电机，然后利用电机进行光路的自动调整，所述自动调整包括标定阶段和实施阶段。本发明通过在原子力显微镜系统中加设用于移动探针架的电机，并通过相关计算实现对原子力显微镜反射光路的自动调整，具有操作简便、定位精准的优点，避免操作者眼疲劳甚至出现损伤的情况。 |
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