| Hohenerfassungsvorrichtung和激光加工设备 |
| DE102018214743 2018-8-30 发明申请 |
| 2019-3-7 |
| 一种高度检测装置，其关闭用于在其上进行光谱干涉的夹紧台，所述夹紧台支撑工件和用于检测保持在夹紧台上的工件的上表面的高度的高度检测单元。 检测具有预定波长带单元的光的光源的高度接近第一光路， 冷凝器， 在第一光路中，设置有用于将光捆绑在夹持在夹持台上的工件上的光路， 分束器， 将第一光路中的光配置成将光源和聚光器之间的光路分割的第二光路， 反射镜，用于反射第二光路中的光并由所述分束器将光返回到所述第二光路中的所述第一光路，形成光路长度基座。 |
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