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激光结晶测量装置和方法
US16058545 2018-8-8 发明申请
2019-2-28
一种激光结晶测量装置,包括 : 光谱仪,被配置为测量由激光结晶装置结晶的实际多晶硅层的光谱的实际数据; 以及模拟装置,连接到光谱仪并且被配置为根据在虚拟多晶硅层中形成的虚拟突起的形状来确定虚拟多晶硅层的光谱的模拟数据, 其中通过使用通过选择近似于实际数据的模拟数据而确定的最终数据来确定在实际多晶硅层中形成的实际突起的形状。
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