| 一种使用MEMS超小尺寸光谱仪 |
| CN201710773046.0 2017-8-31 发明申请 |
| 2019-3-5 |
| 本发明公开一种使用MEMS超小尺寸光谱仪，其包括外壳、入射光栏、准直透镜、楔角片组、色散光栅、MEMS和PD探测器，入射光栏、准直透镜、楔角片组和色散光栅沿光路依次设置，MEMS设于色散光栅的衍射方向，所述楔角片组由具有不同角度的楔角片构成，PD探测器设于入射光栏内侧；入射光由入射光栏射入，准直透镜用于入射光的准直，准直后的入射光经楔角片组拓宽测试光谱范围后输出至色散光栅，色散光栅将入射光衍射至MEMS，经MEMS反射的反射光依次经过色散光栅、楔角片组和准直透镜最终聚焦到PD探测器上。本发明的光谱仪结构简单、尺寸小、低成本、波长范围宽的超小光谱仪。 |
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