| 扫描电子显微镜的运行参数的检验方法 |
| US16021017 2018-6-28 发明申请 |
| 2019-1-3 |
| 可验证是否操作参数的方法，例如将一个焦距参数和散光的校正参数的扫描电子显微镜正确地调整。该方法包括 : 确定边缘的长度比在第第一方向的边的长度第第二方向垂直的第第一方向，所述边缘从设计选择图案的边缘数据；改变操作参数产生图案图像的扫描电子显微镜中；计算第一中的每个方向图像边缘锐度和计算中刀刃的锋利度第二的每个方向图像；确定峰值比第第一方向的边缘锐度的峰值第二方向的边缘锐度；并发出报警，如果比峰值不重合长度比所述边缘。 |
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