| 扫描探针显微镜 |
| WOGB18051812 2018-6-28 发明申请 |
| 2019-1-3 |
| 一种扫描探针显微镜与第一致动器(3)构造成移动部件，其中所述形成的尖(2)使特征是扫描运动。视觉系统(10)配置成收集从视场的光以产生图像数据。所述的视场包含该特征与从视场的光从VIPA传输特征的所述视觉系统通过所述转向元件(13)。跟踪控制系统(15)双配置成生成一个或多个跟踪驱动信号，根据存储的参考数据。第第二致动器(14)被配置为接收所述一个或多个跟踪驱动信号与移动转向元件在基于所述一个或多个跟踪驱动信号，使得所述视场是跟踪与扫描运动，通过同步运动的特征，保持在所述视场。图像分析系统(20)被配置成分析所述图像数据从视觉系统识别特征并测量视在运动特征相对于视场。校准系统被配置为基于所存储的基准数据来调节所测得的视在运动图像分析系统。 |
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