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校准扫描电子显微镜的物镜

WOUS18040166 2018-6-29 发明申请

2019-1-3

一种扫描电子显微镜的物镜对准检查工具少，能获得使用所公开的图像采集技术和系统。两个不同的X-Y电压对可基于确定的扫描电子显微镜图像。第第二图像基于第一X，Y的电压可用于确定(第二)X，Y，电压对。所述X-Y Q4始终导通电压对，可以应用在扫描电镜或其他光学部件显微镜。