| 双光谱矩阵光探测器的制造方法 |
| RU2018109165 2018-3-12 发明授权 |
| 2019-1-29 |
| 本发明涉及光学仪器制造，涉及多元双光谱阵列光探测器的制造方法。 光电检测器包括具有输入窗口的壳体， 光敏元件矩阵阵列(PEMA)具有均匀半导体材料的薄吸收层，通过铟微触点连接到胶合到开关光栅读出电路，其提供到光检测器外部电源和视频信号控制电路的连接。 另外，光电检测器包含溅射多层干涉滤光片。 此时， 在PEMA基质上， 通过溅射仅形成截止滤光片， 产生两个最大光谱灵敏度区域， 复合堵塞过滤器， 保证了短波边界和长波灵敏度边界附近的波前陡度以及最大灵敏度区域之外的二次最大值最小化， 效果 : 技术效果在于提高了器件阈值特性，减少了PEMA表面形成工艺过程的次数和总时间，提高了可使用的PEMA收率。1Cl，3dwg |
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