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产业专利数据

扫描探针显微镜

US15924713 2018-3-19 发明授权

2019-1-1

在扫描探针显微镜，其包括聚光光学系统包括 : 激光束源，准直透镜和聚焦透镜，悬臂，以及检测器，该聚光光学系统包括一个圆筒形的镜筒具有该激光束源，其一端固定，和其内部同轴设置的筒状镜座的镜筒及具有所述准直透镜固定端部靠近激光光源和聚焦透镜固定于相对的端部，环形弹性构件和附着在所述镜头座的外周面。