| 一种实现同轴位移测量功能的激光聚焦系统 |
| CN201820941574.2 2018-6-19 实用新型 |
| 2019-1-15 |
| 本实用新型公开了一种实现同轴位移测量功能的激光聚焦系统，包括连续光谱光源、光谱检测分析处理系统、色散准直光路、反射镜、分光镜、合束镜、共用聚焦镜。连续光谱光源经色散准直物镜后，不同波长的光以不同的发散角度出射，经合束镜后和激光传输与聚焦束光路中的激光束同轴入射至共用聚焦镜，且在聚焦镜的另一端同轴聚焦。光谱检测分析处理系统通过对色散光路返回光谱的检测分析处理获得位移量。本实用新型的系统能够实现激光聚焦系统的焦点位置、离焦量的同轴数值化精确跟踪与数值化检测，适用于不同的被加工或者被测量表面。本实用新型利用光谱共焦原理检测激光聚焦焦点位置，以及同轴实现加工后的加工量检测功能，极大地提高了设备的精度和智能化水平。 |
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