| 扫描电子显微镜 |
| JP2017110171 2017-6-2 发明申请 |
| 2018-12-27 |
| [问题]为了减少半导体探测器在扫描电子显微镜的振动。[解决方案]100是扫描电子显微镜，电子源，物镜6聚焦从电子源发射的电子束的样品，试样照射电子束的产生的半导体检测器102和辐射检测器，检测器支撑部件支撑的半导体检测器102，检测器支撑的支撑部件，探头第一弹性部件(110)和(1)，测温元件通过支撑件，半导体检测器102，辐射检测位置，从缩回位置的检测位置偏差，移动机构和之间，检测半导体探测器102的位置时，板第一和第二接触件(120)，2(头(110)的第1构件，包括[图]图10 |
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