| 用于测量样品的光学系统和方法 |
| IL262399 2018-10-15 发明申请 |
| 2018-12-31 |
| 本发明提供了一种用于对图案化样品进行计量测量的测量系统。 所述系统包括 : 至少一个光源装置，被配置为产生宽带光；至少一个检测装置，被配置为提供检测到的光的光谱信息；以及光学系统。 光学系统包括至少一个倾斜通道系统，用于将光源产生的入射光沿着倾斜照明通道引导到测量平面上， 并将从样品镜面反射的宽带光沿着收集通道引导到检测装置。 所述光学系统还包括干涉单元，所述干涉单元包括分束/合束装置和参考反射器装置。 分束/合束装置容纳在照明通道和收集通道中，并将在照明通道中传播的光分成在样品和参考路径中传播的样品光束和参考光束，并将反射的光合束。 |
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