| 具有物镜电磁透镜的扫描透射电子显微镜及其使用方法 |
| US15926501 2018-3-20 发明申请 |
| 2018-9-20 |
| 本发明的目的是提供一种能够形成至少一个衍射图案的扫描透射电子显微镜。 所述扫描电子显微镜包括配置成提供一次电子束的电子源、聚光透镜系统、物镜电磁系统、投影透镜系统和检测系统，所述物镜电磁透镜还包括上极片和下极片，其中每个极片包括极片面，所述极片面是朝向样品平面的平坦表面。 本发明的一个显著特征是形成至少一个衍射图案，该衍射图案位于远离下极片表面的极片间隙之外，其中极片间隙是上极片表面和下极片表面之间的空间。 |
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