| 用于原子力显微镜Terahertz的具有集成光电信号发射器结构的测量尖端 |
| DE102017001001 2017-3-3 发明申请 |
| 2018-9-6 |
| 本发明涉及一种用于原子力显微镜测量的尖端，其允许在0.01 thz的最小任务至最大10THz的频率范围内测量材料特性，其中位置分辨率小于纳米(通常10a50nm)的区域。 迄今为止，用于激励扫描力显微镜测量尖端THz频率的现有解决方案是由于外部源以及基于自由空间中的基于辐射的耦合波导而导致的极有损耗的高耦合损耗。 本发明解决了特征在于将太赫兹信号源直接集成到AFM测量尖端中的激发侧耦合损耗高的问题。 为此目的使用的是光电子半导体层，其通过中心波长在近红外到红外中的光脉冲被激发以发射THz频率范围内的信号脉冲。 这些THz信号源的紧密接近用于传导测量尖端的表面并且用于在表面相互作用发生时允许有效地传输到杂乱的吊杆尖端的位置。 |
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