| 衍射光栅制造方法 |
| RU2017126864 2017-7-26 发明授权 |
| 2018-7-4 |
| 领域 : 制造工艺的方法。本发明涉及一种打算使用的衍射光栅的制造方法光谱仪器中。方法包括以下步骤 : 光栅上发现模式根据笔画，这些笔画之间的距离的变化规律发现本发明方案的光谱仪。方案用于计算记录笔画查找的图案。光致抗蚀剂施加到基材上具有曲率半径选择，允许在光谱的尺寸装置。第一和第二点的相干辐射源和辅助球面反射镜设置在所述记录装置第二点光源发出的光线反射到衍射光栅根据计算出的录音电路基板。使用笔划被记录在光致抗蚀剂图案的内置记录单元。起伏光栅产生的干涉光刻在基板上具有记录在其上的笔划图案。利用光谱图像的衍射光栅光谱仪器中设置与质量。获得的光谱图像进行分析，由于该衍射光栅的质量检查，决定有关的适应性光谱仪器中使用。作用 : 该方法中，由于一次曝光作业，简化了生产的衍射grating.1Cl，4的双层管 |
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