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集成光子和声子结构的吸收式光谱仪

US15624625 2017-6-15 发明申请

2018-12-20

一种红外光谱仪芯片，包括悬空微平台，所述悬空微平台被配置为具有集成光子和声子结构的热探测器。实施例中的芯片包括温度控制元件，包括光子源、滤波器、传感器和检测器。微平台上设置有热电器件。