| 具有多束和检测后图像校正扫描透射电子显微镜 |
| US14745634 2015-6-22 发明申请 |
| 2016-10-13 |
| 实施例还涉及用于生成样本的校正图像的信息处理系统。 所述系统包括检测器、通信地耦合到所述检测器的存储器、以及通信地耦合到所述存储器和所述检测器的检测后图像处理器。 所述系统被配置为执行包括由所述检测器检测多个运动颗粒的数据的方法，其中所述多个运动颗粒的数据对应于所述样本的未校正图像，并且其中所述未校正图像包括散焦、像散和球面像差。 所述方法还包括由所述检测后图像处理器至少部分地基于处理所述多个运动颗粒的所述检测数据来生成所述样本的校正图像。 |
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