| 用毛细管凝聚法测量半导体结构 |
| US15497033 2017-4-25 发明申请 |
| 2017-11-2 |
| 本发明提供了用于执行由毛细管冷凝过程填充的几何结构的光学测量的方法和系统。 在用包括受控量的填充材料的吹扫气体流处理被测量的结构的同时执行测量。 填充材料的一部分冷凝到被测量的结构上，并填充结构特征中的开口、结构特征之间的空间、小体积(例如凹口、沟槽、狭缝、接触孔等)。基于待填充的最大特征尺寸来调整气化材料在气流中的饱和度。 在一些示例中，当结构未填充时和当结构通过毛细冷凝填充时，收集测量数据，例如光谱数据或图像数据。 将收集到的数据进行组合以提高测量性能。 |
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