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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

利用扫描电子显微镜产生截面深度成分

US15880126 2018-1-25 发明申请

2018-5-31

一种使用扫描电子显微镜(SEM)产生横截面轮廓的方法，包括用电子束扫描样品，以收集能量色散X射线光谱(EDS)光谱的能级，以确定感兴趣区域上的元素组成。生成网格以定位将获取深度剖面的位置。在网格位置收集能级的EDS谱。当光束能量逐步通过时，通过区分深度之间的化学成分差异来确定样品的多层。通过编译网格上的层数和元素组成，为感兴趣的区域生成深度剖面。