| 用于扩展时间改变的方法和装置测量扫描探针显微镜尖端 |
| DE102016223659 2016-11-29 发明申请 |
| 2018-5-30 |
| 本发明涉及一种方法和设备用于扩展时间变化的扫描测量头探针显微镜。特别是本发明涉及一种方法，用于提供测量头(127，130)用于扫描探针显微镜(100)，其包括以下步骤 : 提供至少第一(α)(127)和至少1/2测量头(130)，其中，第一(127)和第第二测量头(130)在一个共同的测量头支架(125，1410)设置，即只有第一测量头(127)与待测样品(132)交互作用；处理第一测量尖端(b)不可逆(127)，使加工后的不可逆仅为第二，测量针(130)与试样(132)相互作用。 |
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