| 用于原子力显微镜探针评估方法 |
| JP2016114990 2016-6-9 发明申请 |
| 2017-12-14 |
| 使用探针，如探针形状[向]客观定量地确定磨损前的状态，所述探头可以方便的知道原子力显微镜探针劣化的状态评估方法。[解决方案]最初的探针测量样品表面形状采用标准S11，初始探测数据进行分析，获取所述表面积的比率K中的参考sample0的表面形状步骤S12和发现，根据表面面积率k0，过程设定的阈值标准样品表面的面积比S13，s21一种表面粗糙度测量表面形状测量的样品或探针，所述使用频率较高的x[1]，利用探针测量样品表面形状标准，S31，所述样品表面形状的表面积比K进行解析得到的数据标准probex在步骤发现s32，表面面积比Kx其中，表面面积比表面面积率k0Kx满足关系式，步骤S33中确定所述探针可被使用。图[图2] |
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