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透射低能量电镜

JP2017113278 2017-6-8 发明申请

2017-12-14

本发明涉及一种低能电子显微技术。电子显微术包括 : 真空室；用于发射电子束的电子枪；衍射室；成像装置；样品固定器用于固定两维纳米材料样品；一种抽真空装置；以及控制计算机。电子束将样品以形成传输和衍射电子束的电子束。所述控制计算机之间切换工作模式切换模块包括一大束斑衍射成像模式小束斑衍射成像模式。